그래핀랩, 반도체 펠리클 JDA 체결…상용화 잰걸음

그래핀랩은 최근 주요 협력사와 반도체용 펠리클 공동개발협력(JDA) 계약을 체결, 상용화를 위한 본격적인 행보에 나선다고 30일 밝혔다. 그래핀랩은 극자외선(EUV)용 펠리클을 개발하는 회사다. 반도체 노광 공정에 핵심인 포토마스크를 보호하는 제품으로, 고가에다 기술